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MEMS器件近紅外檢測(cè)技術(shù)

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，前期的全自動(dòng)晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)非常重要。因?yàn)樵诤蠖说纳a(chǎn)流程中，通常會(huì)有多片晶圓粘合到一起，或者把晶圓粘合到不透明的材料上。因?yàn)榘雽?dǎo)體材料對(duì)可見(jiàn)光都是不透明的，所以很難用可見(jiàn)圖像技術(shù)對(duì)粘合效果做表征或者檢測(cè)粘合表面的污染。比如MEMS的分選就是典型的應(yīng)用。MEMS是把微型機(jī)械部件、微型傳感器、微電路集成到一個(gè)芯片上；為確保MEMS的運(yùn)作，對(duì)其進(jìn)行缺陷檢測(cè)是至關(guān)重要的，但很多機(jī)械性能無(wú)法通過(guò)電氣或功能測(cè)試來(lái)確定。因?yàn)檫@些缺陷往往位于基板上或器件與封蓋晶圓之間連...

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冷CCD相機(jī)在微光顯微鏡（EMMI）的應(yīng)用

半導(dǎo)體器件和電路制造技術(shù)飛速發(fā)展，器件特征尺寸不斷下降，而集成度不斷上升。這兩方面的變化都給失效缺陷定位和失效機(jī)理的分析帶來(lái)巨大的挑戰(zhàn)。對(duì)于半導(dǎo)體失效分析（FA）而言，微光顯微鏡（EmissionMicroscope,EMMI）是一種相當(dāng)有用且效率高的分析工具。微光顯微鏡其高靈敏度的偵測(cè)能力，可偵測(cè)到半導(dǎo)體組件中電子－電洞對(duì)再結(jié)合時(shí)所發(fā)射出來(lái)的光線，能偵測(cè)到的波長(zhǎng)約在350nm~1100nm左右。它可以廣泛的應(yīng)用于偵測(cè)IC中各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流，如：Gateoxided...

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飛秒激光及超快/*科學(xué)解決方案

以飛秒激光技術(shù)為核心的超快光學(xué)及強(qiáng)場(chǎng)物理科學(xué)，在近20年來(lái)發(fā)展迅速。飛秒激光本身，隨著鈦寶石自鎖模振蕩器、CPA技術(shù)、光纖飛秒等重大技術(shù)的創(chuàng)新和發(fā)展，在超快（周期量級(jí)飛秒脈沖）、*（峰值功率拍瓦）、穩(wěn)定性和實(shí)用性等方向上取得了長(zhǎng)足的發(fā)展。其應(yīng)用已經(jīng)深入到物理、化學(xué)、材料、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)加工的廣闊領(lǐng)域，主要應(yīng)用如：1）端超快物理研究：阿秒脈沖產(chǎn)生與阿秒動(dòng)力學(xué)；2）端*物理研究：強(qiáng)相對(duì)論電子，量子電動(dòng)力學(xué)，實(shí)驗(yàn)室天體物理；3）強(qiáng)場(chǎng)物質(zhì)相互作用研究：高次諧波，粒子加速，激光驅(qū)動(dòng)核聚...

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為您的“時(shí)間”保障，選豐富的時(shí)頻系列儀器！

選擇豐富的時(shí)頻系列儀器，先鋒科技為您的“時(shí)間”提供zui穩(wěn)定的保障人們平時(shí)所用的鐘表，精度高的大約每年會(huì)有1分鐘的誤差，這對(duì)日常生活是沒(méi)有影響的，但在要求很高的生產(chǎn)、科研中就需要更準(zhǔn)確的計(jì)時(shí)工具。目前世界上zui準(zhǔn)確的計(jì)時(shí)工具就是原子鐘，它是20世紀(jì)50年代出現(xiàn)的。原子鐘是利用原子吸收或釋放能量時(shí)發(fā)出的電磁波來(lái)計(jì)時(shí)的，原子鐘的精度可以達(dá)到每100萬(wàn)年才誤差1秒。這為天文、航海、宇宙航行提供了強(qiáng)有力的保障。美國(guó)斯坦福研究系統(tǒng)公司（以下簡(jiǎn)稱“SRS”）提供各類的時(shí)頻系列儀器，應(yīng)用...

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準(zhǔn)分子激光器使用的技術(shù)指導(dǎo)工作

氣體激光技術(shù)自61年問(wèn)世以來(lái),發(fā)展為迅速,受到許多國(guó)家的大重視。特別是近兩年,以二氧化碳為主體工作物質(zhì)的分子氣體激光器的進(jìn)展更為神速,已成為準(zhǔn)分子激光器中zui有發(fā)展前途的器件。準(zhǔn)分子激光器不僅工作波長(zhǎng)(10.6微米)在大氣“窗口”,而且它正向連續(xù)波大功率和率器件邁進(jìn)。不到兩年,現(xiàn)在該類器件的連續(xù)波輸出功率高達(dá)1200瓦,其效率為17%,電源激勵(lì)脈沖輸出功率為825瓦,采用Q開(kāi)關(guān)技術(shù)已獲得50千瓦的脈沖功率輸出。zui近,有人認(rèn)為,進(jìn)一步提高現(xiàn)有的工藝水平,近期可以達(dá)到幾千瓦...

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