準(zhǔn)分子激光器激光用于半導(dǎo)體處理，特別是半導(dǎo)體表面退火，是一種有希望的應(yīng)用，潛在的市場(chǎng)是很大的。激光處理比常規(guī)熱處理的優(yōu)點(diǎn)是能夠紡織退火期間參雜劑的再分布，同事保持適當(dāng)?shù)脑俳Y(jié)晶和參雜劑活化。準(zhǔn)分子激光能對(duì)樣品均勻照射，而且準(zhǔn)分子激光的光譜相當(dāng)?shù)膶?，因而相干長(zhǎng)度相當(dāng)短，使得樣品中的干涉效應(yīng)減到zui小，而在以往的激光退火中，這時(shí)難以解決的問題。準(zhǔn)分子激光的紫外波長(zhǎng)很適于退火樣品的薄層穿透，準(zhǔn)分子激光還可以聚焦成微米級(jí)尺寸進(jìn)行材料處理。

    利用準(zhǔn)分子激光的良好聚焦作用，通過激光引發(fā)光化反應(yīng)，使表面出現(xiàn)微米量級(jí)的沉淀或蝕刻。例如，用波長(zhǎng)為193毫微米的氟化氬準(zhǔn)分子激光在樣品表面光解三氯化硼，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了單晶硅和多晶硅的摻雜。此外，用脈寬為7豪微秒的準(zhǔn)分子激光瞬間熔化表面，可使摻雜劑擴(kuò)散到幾千埃的深度并使摻雜劑*活化。采用這種技術(shù)制造的太陽能電池，轉(zhuǎn)換效率約為13-14%。

    準(zhǔn)分子激光器在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域使用：

    在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中使用的激光器種類非常多,常用于眼科治療的主要有紅寶石激光、氬離子激光、氪離子、染料激光、摻釹釔鋁石榴石激光和氟化氬準(zhǔn)分子激光等固體、氣體和液體的激光器，用連續(xù)的、脈沖的和調(diào)Q的方式，治療眼底部色素膜和屈光間質(zhì)等部位的數(shù)十種有關(guān)眼部疾病。

    眼科使用的準(zhǔn)分子激光, 是以氬氣和氟氣為工作氣體產(chǎn)生的激光。所謂準(zhǔn)分子激光，是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光，波長(zhǎng)范圍為157～353nm，所屬紫外激光波段。用于臨床的氟化氬混合物產(chǎn)生的波長(zhǎng)為193nm的超紫外冷激光。

    波長(zhǎng)為193nm的ArF準(zhǔn)分子激光，進(jìn)行屈光手術(shù)的機(jī)理就是光化學(xué)效應(yīng)。準(zhǔn)分子激光單個(gè)光子的能量大約是6.4eV，而角膜組織中肽鍵與碳分子鍵的結(jié)合能量?jī)H為3.6eV。當(dāng)其高能量的光子照射到角膜，直接將組織內(nèi)的分子鍵打斷，導(dǎo)致角膜組織碎裂而達(dá)到消融切割組織的目的，并且由于準(zhǔn)分子激光脈寬短，又是光化學(xué)效應(yīng)切除。因此，對(duì)切除周圍組織的機(jī)械損傷和熱損傷小。

    用這種刀施行光切術(shù),其切割精度可達(dá)到μm級(jí),其刀口損傷范圍僅達(dá)nm級(jí),而且由于無熱效應(yīng)而不會(huì)損傷鄰近組織。所以現(xiàn)已運(yùn)用于角膜手術(shù)，如角膜屈光手術(shù)、角膜疤痕去除等。